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OLED研发中心全面投入运行
2017/7/27 16:22:50 浏览次数:1984
   安徽熙泰智能科技有限公司OLED研发中心经过半年多的筹划,已经圆满建成,全面投入运行。

   本研发中心所使用的团簇式设备,是我公司技术人员根据多年OLED研究和产业的经验,整合国内外设备的优点进行总体设计、生产、组装完成。该团簇式设备由四个真空腔室、一个传递腔室和用于封装用的手套箱(水和氧气含量小于1 ppm)构成,总控腔体(1)用于机械手自动传输并能控制各个腔体的工作,真空腔体为等离子体清洗腔体(2)用于清洗基板,有机热蒸发薄膜蒸镀腔体(3)用于蒸镀OLED各个功能层;两个磁控溅射腔体(4和5)腔体用于制作金属和化合物电极。所有真空腔体的真空度可达10-5 pa。



团簇式整体结构:由五个真空腔体和无水无氧收操作箱构成



电控系统



无水无氧手套箱


   此外,本中心还拥有配套附属设备:OLED综合性能测试仪、OLED器件老化设备、薄膜厚度测量仪等。



左:OLED性能综合测试仪    右:OLED老化性能测试仪



薄膜厚度测试仪(台阶仪)


我们的OLED综合研发系统可以进行如下研发工作:

【1】各种有机物薄膜制作、金属及其化合物电极等薄膜制作;

【2】各种底发射器件以及各种阳极的顶发射OLED器件;

【3】硅上OLED器件研发;

【4】OLED器件的工作寿命试验;

【5】各种薄膜厚度的精确测量;

【6】发光性能综合性能精确测量和OLED器件性能的评估。


 
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